Saphirglasrohre und Saphirglasstäbe sowie kundenspezifische Produkte
Saphirglasrohre und Saphirglasstäbe zeichnen sich durch hohe mechanische, chemische und thermische Beständigkeit aus
und bieten zusätzlich eine hohe optische Transmission ab 200nm. Saphirglasrohre und -stäbe können wir für die
verschiedensten Anwendungen anbieten.
Wir können Ihnen Saphirrohre bis zu einem Durchmesser von 50 mm und einer Länge von ca. 600 mm und Saphirstäbe
bis zu einem Durchmesser von 25 mm und einer Länge von ca. 400 mm anbieten. Verschiedene Wandstärken sind bei
den Rohren möglich. Sprechen Sie uns an um die Möglichkeiten abzuklären.
Rohre und Stäbe aus Saphirglas sind vielseitig einsetzbar. Häufig verwendet werden diese in der Halbleiterindustrie, für
Leuchtdioden, als Schutzrohre für Thermoelemente, als Lichtleiter für die Medizintechnik und viele weitere Anwendungen.
Saphirlinsen bieten wir Ihnen in plano-konvex, plano-Konkav, bi-konvex oder als Prisma an.
Die vielfältigen, einzigartigen Vorteile und Eigenschaften des Saphirs machen das Material unabdingbar für herausfordernde
Anwendungen in der Halbleiterfertigung: Hohe mechanische Stabilität, Reinheit, Beständigkeit gegenüber aggressiven
Medien und korrodierenden Prozess-Umgebungen wie z.B. NF3 und CF4 bringen unschlagbare Vorteile gegenüber alternativen
Materialien wie Quarz oder Keramik. Ebenso können Saphir-Substrate und Saphir Dummy Wafer in Größen von 4“ bis 8“,
einseitig poliert mit flat oder notch nach Kundenwunsch gefertigt werden.
Einsatzmöglichkeiten:
- Plasmadüsen
- Injektoren
- Kammerfenster
- Substrate und Wafer
- Lift- und Führungspins
- Temperatursensor-Schutzmäntel
- Showerheads und Gasverteilplatten
Produkte aus Saphir ersetzen Materialien die sehr schnell im Plasma erodieren, unerwünschte Partikel emittieren oder nach kurzer Zeit ihre Transmission einbüßen. Somit trägt Saphir zu deutlich verbesserten Prozess-Uptimes, höheren Ausbeuten und optimierten Cost-of-Ownerships bei.
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